水平式晶圓盒清洗機(jī)
Xtrim-FC-H300
設(shè)備概述
五大系統(tǒng)：純水加熱+高壓噴淋+高速離心甩水+CDA/N2吹掃+熱風(fēng)/紅外干燥、清洗腔4/6工位掛架（定制化）
設(shè)備亮點(diǎn)
清洗速度快
清洗效率高，30-60分鐘完成1次清洗工藝，快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出。
兼容性強(qiáng)
4~12寸全尺寸兼容。
FOUP、晶圓盒、FOSB、光罩盒、Cassette、Box等均可清洗。
工藝性能優(yōu)異
Particle管控效果卓越。
熱風(fēng)干燥/紅外干燥。
安全生產(chǎn)
DBPS動(dòng)平衡保護(hù)。
防呆保護(hù)系統(tǒng)。
高溫連鎖控制防護(hù)。