全自動(dòng)去膠設(shè)備
Xtrim-SC-ST300
設(shè)備概述
Loadport*4、Multi Chambers、Robot、CDU、e-Flow
設(shè)備亮點(diǎn)
功能完備
Nano-Spray、Mega-Sonic、加熱、N2鼓泡、常壓/高壓DIW等基本配置可選。
可根據(jù)客戶需要搭配對(duì)應(yīng)的藥水，如NMP/NaOH/ IPA等。
定制化
支持6&8&12 Inch Wafer。
可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化搭配。
節(jié)約藥液
配置專業(yè)藥液循環(huán)利用、自動(dòng)補(bǔ)液、藥液控溫及排風(fēng)、排廢系統(tǒng)；
支持by片數(shù)/時(shí)間切換recipe，充分延長(zhǎng)藥水使用壽命。
污染控制
專業(yè)材質(zhì)選用：實(shí)現(xiàn)對(duì)Particle的高效管控；
封閉式的晶圓加工環(huán)境，有效防止化學(xué)液霧化及微粒污染。