江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)東吳南路25號城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號廠房）

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合作熱線

  • 戰(zhàn)略合作：fuxing.wang@js-xm.com.cn

  • 技術(shù)交流：louis.shao@js-xm.com.cn

  • 供應(yīng)鏈合作：sunshine@js-xm.com.cn

單片清洗設(shè)備

全自動4腔金屬刻蝕機(jī)

Xtrim-SC-ET300

設(shè)備概述

Loadport*2、Multi Chambers、Robot、CDU

設(shè)備亮點

定制化設(shè)計

  • 可支持6”&8”&12”inch Wafer。

  • 可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化搭配。

節(jié)約藥液

  • 支持藥液回收。

  • 支持多種藥液。

  • 支持by片數(shù)/時間切換recipe，充分延長藥水使用壽命。

污染控制

  • 專業(yè)材質(zhì)選用：實現(xiàn)對Particle的高效管控。


智能化的救貨系統(tǒng)

  • 軟件：配置救貨機(jī)制，異常狀態(tài)下避免晶圓過度刻蝕。

  • 救貨噴嘴。