拋光液供液系統(tǒng)
Xplaim-ST-SDS
設(shè)備概述
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體濕法行業(yè)各種拋光液Slurry的供應(yīng)
設(shè)備亮點(diǎn)
機(jī)型種類(lèi)多
廠務(wù)中央供液CDS和設(shè)備端Local CDS，可以供原液，也可以增加稀釋混液系統(tǒng)。
適用于DSP、EP、FP等各種拋光機(jī)。
專(zhuān)業(yè)性設(shè)計(jì)
針對(duì)拋光液Slurry特性使用行業(yè)驗(yàn)證的針對(duì)性關(guān)鍵配件，比如磁懸浮泵、連續(xù)液位計(jì)、控溫系統(tǒng)等。
可靠性強(qiáng)
多種數(shù)字儀表，電導(dǎo)率、PH計(jì)、溫度、壓力、流量、空桶檢測(cè)等檢測(cè)系統(tǒng)工況。
自動(dòng)化程度高
自動(dòng)配液、自補(bǔ)液，可選拋光后回收或直排。與廠務(wù)MES通訊上傳工藝參數(shù)。